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• G-TRAN系列 復合離子真空計SH2-1/SH2-2
  

  ULVAC開發(fā)并商品化了可連接不同測量范圍的測定子的“G-TRAN系列復合離子真空計”（專利申請中）。以往將數(shù)個原理一體組合的復合型真空計給用戶帶來以下困擾：“一個測定子故障則必須全部測定子都需更換”、“由于測定子復雜容易故障”、“測定子價格高昂” 等。這種新的方式，不但可以寬范圍測量，還可大幅控制使用成本，對應低環(huán)境負荷。
  

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  若想了解更多請致電182-2185-4021

  • 產(chǎn)品特性 / Product characteristics

  •  ? 寬范圍測定：可測定從大氣壓到高真空領(lǐng)域（10+5?5×10-8Pa）（SPU?SAU同時使用的情況下）

    ? 可連接不同測定范圍的測定子：采用了復合離子真空計（專利申請中），可選擇不同測定子對應不同用途
    ? 大氣壓測定準確：容易準確測定大氣壓（使用SAU的情況下）
    ? 低環(huán)境負荷對應：由于只需替換對應的測定子，可降低使用成本
    ? 辨識性的提高：搭載可確認異常的LED
    ? 維修性：測定子易于替換
    ? 測定值輸出信號：輸出壓力0 ? 10V（Log輸出）
    ? 控制輸出信號：設(shè)定點3點輸出（SH2-1）
    ? 串行通信規(guī)格：RS232C/RS485通信（SH2-2）
    ? 適合規(guī)格：對應CE標準
  • 產(chǎn)品應用 / Product application
  • ? 用于太陽能電池·FPD·半導體·電子器件等各種制造設(shè)備的高真空領(lǐng)域的工藝控制
    ? 用于in-Line式·枚葉式等多工藝腔體的各種制造設(shè)備的高真空領(lǐng)域的壓力到達確認
    ? 用于高真空·超高真空設(shè)備的壓力測定
  • 產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters

  •  

    

    ■各模式規(guī)格：SH2-1/SH2-2復合離子計單體、SH2-1/SH2-2和皮拉尼真空計的組合模式、SH2-1/SH2-2·皮拉尼真空計·大氣壓傳感器組合的組合模式等三種模式可供選擇。

    

• 產(chǎn)品系列

  • 設(shè)備(按類型分)
    蒸發(fā)設(shè)備 退火設(shè)備 蒸餾設(shè)備 氦檢漏設(shè)備 凍結(jié)干燥設(shè)備 卷繞設(shè)備 真空爐 CVD設(shè)備 離子注入設(shè)備 去膠設(shè)備 濺射設(shè)備 刻蝕設(shè)備 其他
  • 設(shè)備(按用途分)
    FPD&PV設(shè)備 半導體設(shè)備 電子設(shè)備 產(chǎn)業(yè)機器
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