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• 真空計G-TRAN系列 復合離子計ST2-1/ST2-2
  

  高真空測定中，面對真空計的精度（敏感度的參差不齊、誤差等）、短壽命（測定子的污染、難放電等）等困擾，ULVAC針對這些困擾開發(fā)且商品化了嚴苛環(huán)境下長壽命、高精度測定的電離真空計。這個世界首創(chuàng)的三極管型金屬電離真空計，可大幅控制使用成本、提高各種工藝的良率。

  購買咨詢

  若想了解更多請致電182-2185-4021

  • 產(chǎn)品特性 / Product characteristics

  • • 世界首個三極管型金屬電離真空計（專利申請中）

       對真空計而言嚴苛的環(huán)境下，由于三極管的優(yōu)點也可實現(xiàn)最大限度的使用壽命

    • 提高測定精度
       實現(xiàn)測定精度±%、提高感度穩(wěn)定性
    • 金屬制小型測定子
      無需擔心像玻璃型那樣子破損
    • 寬范圍測定
      可測定從大氣壓到高真空的范圍（10⁺⁵Pa～10^-5Pa）（同時使用SPU?SAU時）
    • 可連接不同測定范圍的測定子
      采用復合離子計可根據(jù)用途選擇對應的測定子
    • 準確的大氣壓測定
      可容易測定大氣壓，且測量精確。（使用SAU時）
    • 低環(huán)境負荷對應
      由于可交換必要的對應測定子，可降低使用成本
    • 燈絲壽命通知功能
      通過燈絲的電力監(jiān)視，可事先通知燈絲壽命
    • 辨識性的提高
      搭載一眼便可確認真空計狀態(tài)的LED
    • 維修性
      測定子的交換簡單
    • 適合規(guī)格
      CE標準對應
     

     

  • 產(chǎn)品應用 / Product application
  • • 用于有機EL·觸摸屏等的制造設備的到大壓力的確認和真空爐等各種產(chǎn)業(yè)真空設備的工藝管理中達到壓力的確認
    • 用于硬化碳（油系）較多的氛圍的測定
    • 用于真空部件加工時的切削油、洗潔劑等殘存的氛圍的測定
    • 用于以減少真空計測定子交換頻度為目的的真空設備
    ※在腐蝕性氣體（鹵素氣體）氛圍下使用時，請咨詢商討。
  • 產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters

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• 產(chǎn)品系列

  • 設備(按類型分)
    蒸發(fā)設備 退火設備 蒸餾設備 氦檢漏設備 凍結干燥設備 卷繞設備 真空爐 CVD設備 離子注入設備 去膠設備 濺射設備 刻蝕設備 其他
  • 設備(按用途分)
    FPD&PV設備 半導體設備 電子設備 產(chǎn)業(yè)機器
  • 真空標準部件
    真空泵 真空閥 氣體分析計 超高真空部件 微量精密攪拌機 薄膜計測 分子間相互作用解析裝置 光學工藝模擬器 軟件 真空搬運機械手 檢漏儀 真空計 電源
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