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• Load-lock式濺射設(shè)備CS-200
  

  Load-lock式濺射設(shè)備CS-200，是可對(duì)應(yīng)從研究開(kāi)發(fā)到小規(guī)模量產(chǎn)的濺射設(shè)備。

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  • 產(chǎn)品特性 / Product characteristics

  • •      活用過(guò)往的工藝及數(shù)據(jù)的Know-How，全新的的便利設(shè)計(jì)

    • 在Load-lock室內(nèi)搭載Cassette機(jī)構(gòu)（可選）提升生產(chǎn)能力
    • 基板搬送尺寸最大為. φ300mm（膜厚均一性保證部分為中心φ200mm部份）
    • 可對(duì)應(yīng)多個(gè)Cathode多層成膜/共濺射
    • 可由Touch Panel操作開(kāi)始自動(dòng)制程、輸入Recipe實(shí)現(xiàn)省力化運(yùn)作
    • 可對(duì)應(yīng)Data-logging
     

     

  • 產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application
  • • 成電極膜，多層電極同時(shí)成膜
    • 電介質(zhì)膜成膜，絕緣膜，鈍化，保護(hù)膜等
    • 電子部件向研究開(kāi)發(fā)，及小規(guī)模生產(chǎn)
     

     

  • 產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters
• 產(chǎn)品系列

  • 設(shè)備(按類型分)
    蒸發(fā)設(shè)備 退火設(shè)備 蒸餾設(shè)備 氦檢漏設(shè)備 凍結(jié)干燥設(shè)備 卷繞設(shè)備 真空爐 CVD設(shè)備 離子注入設(shè)備 去膠設(shè)備 濺射設(shè)備 刻蝕設(shè)備 其他
  • 設(shè)備(按用途分)
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